SEMPREP SMART 離子研磨儀 SEM樣品制備
SEMPREP SMART離子研磨儀配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。這款設(shè)備是用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔的理想選擇。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品并為 EBSD 分析制備無損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品，例如在半導(dǎo)體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實現(xiàn)出色的效果。
離子研磨儀 SEM樣品制備主要特點：
• 先進(jìn)的離子槍設(shè)計和自動化功能
• 新型用戶友好操作軟件:為用戶提供智能輔助
• 更精確的針閥:允許對氣流進(jìn)行精細(xì)調(diào)整
• 高精度可調(diào)性:用于精細(xì)調(diào)節(jié)操作
• 更長壽命高真空傳感器
產(chǎn)品功能：
• 可選低能槍（LEG）
• 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)
• 可選真空轉(zhuǎn)移裝置 (VTU)，用于在真空條件下取出樣品
• 獨立的對位樣品臺：在進(jìn)行 90° 加工時用于精確樣品定位
技術(shù)參數(shù)：
離子槍：
超高能量離子槍，最高可達(dá) 16 keV
樣品尺寸
截面樣品臺（可選 30°、90°樣品臺）：
• 30°樣品臺：最大尺寸16.4mm (長) x 16mm (寬) x 3.1mm (厚)
• 90°樣品臺：最大尺寸18.6mm (長) x 16mm (寬) x 6mm (厚)
用于表面加工（EBSD）的平面樣品臺，配有三種不同的頭部類型
• 平頭型：最大直徑 50mm x 4mm
• 標(biāo)準(zhǔn)型：最大直徑 32mm x 15mm
• 空心型：最大直徑 25mm x 23mm
樣品臺移動
• 樣品傾斜角度：0° 至 30°，每 0.1° 連續(xù)可調(diào)
• 樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)：360 可變速樣品旋轉(zhuǎn)，角度速度可調(diào)
• 樣品加工擺角（搖擺）：±10° 至 ±120°，每 5° 連續(xù)可調(diào)
樣品冷卻（可選）
液氮冷卻或 Peltier 冷卻
真空系統(tǒng)
無油隔膜泵和分子泵
氣體供應(yīng)系統(tǒng)
純度為 99.999% 的氬氣工作氣體，高精度針閥流量控制
分子泵
HiPace 80 Neo.
成像系統(tǒng)
500萬像素CMOS相機(jī)，具有圖像內(nèi)的測量功能
計算機(jī)控制
易于使用的圖形界面，自動化離子槍操作和樣品臺 位置校準(zhǔn)
使用氬離子束進(jìn)行加工
傳真：
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