使用的飛納電鏡，荷蘭VDL ETG公司正在探索清潔度提升的極限
在高科技行業中，組件的發展趨勢是變得越來越干凈，例如對于真空系統的組件。客戶不能忍受哪怕是很小的灰塵顆粒。然而，為了去除它們，生產商必須首先發現它們。用的飛納臺式掃描電鏡，可以探測到萬分之一毫米的粒子。荷蘭VDL ETG公司為了清潔晶元而購買了飛納電鏡。在常規正常生產中，也被證明是非常有用的。
研究清潔的方法
“如果客戶的目標是追求越來越干凈，那么我們就必須知道正在和他們討論的是什么。”“知識就是力量”，Geert Jakobs說到。他是VDL ETG技術開發公司的總。他的公司，包括TNO和ASM Europe，正在一起參與一個歐洲研究項目，以研究開發新的晶圓清潔工藝。“我們需要更多地了解清潔產品的制造，為此，這個項目是一個不錯的平臺。”它是關于從組件表面去除微小的100納米(一納米是百萬分之一毫米)的塵埃顆粒。
我們在這個項目中的目標是研究公司必須使用的生產方法。這些粒子非常小，以至于不能再用傳統的技術看到它們（比如近紫外光直接檢查）。因此，我們需要尋找一種方法來檢測這些粒子，并確定它們的來源。
荷蘭產品
VDL ETG購買了來自荷蘭埃因霍溫的飛納臺式掃描電鏡。飛納臺式掃描電鏡能譜一體機 Phenom ProX 不僅可以用來成像，還可以用其內置的能譜儀EDS進行化學元素分析。
技術Luuk Berkelaar說，正是飛納電鏡的技術指標和實際性能贏得了VDL ETG的青睞。“分辨率和放大倍數是對我們來說zui重要的參數。此外，利用元素分析可以確定粉塵顆粒的化學成分，從而可以追溯其根本原因。”此外，VDL ETG還購買了于測量和分類粉塵顆粒的顆粒統計分析測量系統，以及表面粗糙度的測定軟件。
VDL ETG采購飛納電鏡的主要原因是什么呢。飛納Phenom是一個荷蘭產品確實很重要，但不是直接決定因素；競爭對手產品也同樣被關注。特別重要的是的指標參數——以及另一種支持荷蘭產品的觀點——距離Phenom-World總部更近。
Berkelaar說到：“Phenom-World公司非常友好和開放，我們直接與了解產品技術的人員面對面交流”。來自VDL ETG的工作人員對電鏡系統的工作和軟件使用提供了非常好的反饋：還有什么掃描電鏡可以稍微不同甚至更好？”
飛納Phenom的優點是比它的競爭對手更緊湊，所以它可以被放置在一個標準的超凈臺里面(為了防止環境里的污染物進入。
檢測能力建設
飛納臺式掃描電鏡現在在埃因霍溫（Eindhoven）的VDL ETG的超凈臺里操作使用。Berkelaar說；“我們為零部件的生產過程帶來變化，并研究其對生產的零部件的顆粒清潔度的影響。有各種表面處理和生產工藝。”
此外，飛納臺式掃描電鏡已經被用于幫助解決常規生產中的質量問題，Geert Jakobs補充道。“例如，我們可以看到奇怪的斑點，裂縫和焊縫。飛納Phenom已經證明了它的價值，并在我們的團隊中對實驗室檢測能力做出了貢獻。
VDL ETG的樣品是荷蘭*個在超凈臺監測清潔度的樣品。我們現在正研究是否也有其他環境需要非常干凈的應用案例。這樣飛納電鏡將幫助更多的客戶提供超凈環境中的掃描電鏡檢測。
350x放大倍率下的樣品圖像
同種樣品的化學元素分析
VDL ETG
自2006年以來，VDL Enabling Technologies Group (ETG)成為VDL Group的一部分。VDL Group公司總部位于荷蘭的埃因霍溫，是一家專注于開發、生產和銷售半成品、公共汽車、客車等產品及汽車組裝的實業公司。
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